天津半导体厂第三方NEBB测试认证验收测试,NEBB测试
洁净室压差检测的目的是为了验证(Experimental)完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于空态、静态、动态的洁净室的占用状态，工程完工后需要定期进行压差检测。
洁净室工程设计、规划、安装竣工之后，洁净室的压差是否根据设计方案来设定呢？如何能检测出洁净室的压力是多少pa呢？有什么科学的检测方法？有什么（解释:对权力的一种自愿的服从和支持)的检测依据吗？据小编了解对于分等级的洁净室使用了压差传感器(transducer)和气闸（zhá)室的情况下，即使采用目前落后的压降传感器技术，也可以达到令人满意的防护效果。FFU优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
一、无尘车间工程中压力测试（TestMeasure)方法有哪些呢？小编推荐采用以下两种测量方法，来进行无尘车间工程压力关系检测：
1、无尘车间-对-无尘车间
2、无尘车间-对-公共参考点
需要记录大量压差的大型制药厂通常采用公共参考点方法， 由此使压力传感器(transducer)的数目实现小化，同时尽大程度减小多个读数合计时所产生的复合误差。用管路将压降变送器（通常是 ;高 ;侧）的一个端口连接到被监控的洁净室，而另一侧（通常是 ;低 ;侧）则用管路连接到位于不受室外风影响的压力稳定（解释:稳固安定；没有变动)部位的公共参考点（或通过集流管连接到压力稳定（解释:稳固安定；没有变动)部位）。理想压力参考点的位置（position )应有较大的容积(volume)，开口较少，相对于室外而言无压力变化或者变化速度缓慢。
二、无尘车间工程中静压差的测定要求：
1，静压差的测定是洁净厂房内所有的门全关闭状态下进行的。
2，应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到直通室外的房间。
3，测管口设置在室内不受气流干扰的地方。
4，所测数据（data)应到 1。0Pa。
三、无尘车间工程中静压差的测定步骤（procedure)：
1、是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。
2、用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之间， 走廊与外界之间的压差。
3、记录在案
4、静压差测定用的仪器（appliance）：静压差测定一般采用的仪器为 YJB-150 型补偿式微压计，倾斜式压力计，精密(precise)指针式压力计或灵敏度(Sensitivity)小于 1。0Pa 的其它压力计。
四、合格标准：
1、不同级别的洁净室工程（区）与非洁净室洁净室（区）之间的静压差应不小于5Pa。风淋室是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。
2、洁净室工程（区）与室外的静压差应不小于 10Pa。层流罩目前级别高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。
3、对于洁净度等级严的单相流洁净室在开门时，门内 0。6m 处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
洁净室的定义，早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的化，于是有ISO-14644的产生。以下说明洁净室的各种标准与规范。
Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、台湾、与中国大陆，都还沿用209E。
ISO-14644系列;美国为了推动经济化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的国际标准ISO-14644。14644系列有8个子题，称为14644-1，14644-2，一直到14644-9。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。
JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定洁净室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的量测技术。
Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，定义洁净室的分类与一般需求。
以上是洁净室等级规定，与洁净度量测的相关标准。另外有关洁净室污染控制(也就是洁净度控制)，和环境控制(如温湿度、震动噪音等)，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在洁净室性能测试的范围之内。
IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒量测，006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
NEBB 洁净室测试规范第二版：这是目前广为流行的测试规范，提到洁净室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 洁净室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此 NEBB 洁净室测试规范成功的成为产业标准。
ISO-14698 系列：14698 有三个子题，是有关生物污染的控制。
每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对洁净室的要求可能都不一样。
洁净室风量和风速的检测方法
1、洁净室风量、风速检测首行，净化空调各项效果，是在设计的风量、风速条件下获得。
2、风量检测前，检查风机运行是否正常，系统中个部件安装是否正确，有无障碍（如过滤器有无被堵、挡），所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且实际测量被测风口，风管尺寸。
3、对于单向流（层流）洁净室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。其中垂直单向流（层流）洁净室的测定截面积，取距地面0.8米的水平截面。水平单向流（层流）洁净室，取距送风面0.5米的垂直截面。截面上测点间距，不应大于2米，测点数应不小于10个，均匀布置。仪器用热球风速仪。
4、对于乱流洁净室，采用风口法或风管法确定送风量。作法分别见第6项，第7项和第8项。
5、对于不安装过滤器的风口，可按现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243附录一的方法执行。
6、对于安有过滤器的风口，根据风口形势可选用辅助风管，即用硬质板材做成与风口内截面相同，长度等于2倍风口边长的直管段，连接于过滤器风口外部，在辅助风管出口平面上，按少测点数不少于6点均匀布置测点，用热球风速仪测定各点风速，以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。
7、对于安有同类扩散板的风口，可以根据扩散板的风量阻力曲线（出厂风量阻力曲线或现场实测风量阻力曲线）和实测扩散板阻力（孔板内静压与室内压力之差）查出风量。测定时用微压计和细毕托管，或用细橡胶管代替毕托管，但都使测孔平面与气流方向平行。此外，也可以采用经检测部门认可的其他方法。
8、对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以扎孔时，可以用风管法确定风量，测定断面距局部阻力部件距离，在局部阻力部件前者不少于3倍管径或3倍大边长度。在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度。
9、对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形，边长好不大于200毫米，测点设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管，应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。在风管外壁上开孔以便插入热球式风速仪测杆或毕托管，用毕托管时先测定动压，然后由下式确定风量：
式中：Q——风量m3 / s
F ——管道截面积； m2
Pd1⋯Pdn——各点动压； Pa
乱流原理
[2]洁净室按其气流状态来区分，主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也有称矢流洁净室的)，这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出，不论是哪一种洁净室，都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢?
乱流洁净室的名称是借用于日文，但是日文的乱流就是紊流的意思，而中国早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。现在国际上则习惯称这种洁净室为非单向流洁净室。
所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式：
⑴过滤器顶送(有扩散板和无扩散板
⑵流线型散流器顶进
⑶局部孔板顶送
⑷侧送
具有这些送风形式的洁净室，如以雷诺数判断，显然属于紊流流态，但是如果把它们称为紊流洁净室就不合适。气流沿整个顶棚下送，室内速度达到0.25m/s
以上，这种室内的流动状态也是紊流，但在后面就会搞清楚，虽然这两种送风方式都造成室内紊流流态，但是就其净化室内空气的原理来说，却是根本不同的，后者属于单向流或平行流洁净室的净化原理。所以如果把前者称为紊流洁净室，则后者也应被包含进去了。
乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流;非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
所以，概括地说，乱流洁净室的作用原理是：当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合，同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散得越快，越均匀，稀释的技果就越好。所以乱流洁净室的原理就是稀释作用。
三、控管项目
1、能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。
4、压力之调节。
5、 有害气体之排除。
6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素之考虑。
10、节能之考量。
空气净化方法
1
、整体净化：可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧全面地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外，而达到好的除菌效果。
⑴过滤除菌技术：空气洁净主要靠或效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理：①网截阻留;②筛孔阻留;③静电吸引阻留;④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，过滤洁净技术是一种综合作用的结果。
⑵滤材结构：生物洁净室所用滤材级别多数为或效滤材，所用滤材有：玻璃棉制滤材、纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。滤材对空气中
0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ，效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。
2 、局部净化
⑴洁净层流罩：洁净层流罩是医院局部空气净化装置。一般可构成垂直层流方式，四周用透明围幕。整个罩内可保持高洁净度(万级至百级)空气。这种洁净层流罩可用于功能低下病人的治疗保护，所以也称无菌病床层流罩。
⑵净化操作台：采用水平或垂直层流方式净化箱体内的空气，可使操作台内净化达到很别。
⑶静电吸附除菌净化技术：静电吸附除菌是利用工业电除尘的原理，在小型化技术方面有所创新。①采用细线放电极与蜂巢状铝箱收集极形成级线装置;②采用镜象力荷电吸附作用。
目前有一种三级净化装置，即预过滤 - 过滤 -
活性炭吸附，组合式正离子静电吸附除菌，并采用大风量空气净化，以室内空气净化次数，较好地解决了医院部门如手术室、 ICU
、母婴病房、血液透析室等有人情况下的空气持续消毒问题，可使医院室内空气的净化洁净度达到 10 万级 ~1 万级。
⑷负离子净化技术：负离子是一种带负电的化学基团，能发生可逆性变化，存在时间极短，本身并无杀灭微生物的能力，主要是靠带电离子与空气中的微粒特别是微生物颗粒结合，形成多个颗粒凝聚变大从而迅速沉降，使空气达到净化的目的。空气中负离子只有在具备某些化学性质时，如活性氧离子等，它们才具有侵害蛋白质的能力从而杀灭微生物，因此负离子对空气净化的能力比较有限，对空气中微生物粒子清除率只能达到
70%~90%。
四、分类
乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,级。
定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多，净化级别越高)
⑴自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1,000级希望不超过20min(分钟)
(可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟)
(可取30min计算)
⑵换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范：50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时
(规范：25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范：15次/小时)
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class
1~100。其型式可分为二种：
⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。
⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean
Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部洁净室(Clean
Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
洁净室自净时间测定规程
1.目的：制订本标准的目的是建立洁净室自净时间测定规程，检测洁净室受到污染后恢复标准要求的洁净度的能力。
2. 依据：国家药品监督管理局《药品生产质量管理规范》(1998年修订)附录一人民共和国行业标准JGJ 71-90《洁净室施工及验收规范》
3. 范围： 本标准适用于洁净室自净时间的检测。
4. 责任：工程部公用工程组操作人员对本标准的实施负责。
5. 正文：
5.1. 测试仪表：发烟器；悬浮粒子计数器。
5.2. 洁净室自净时间的测定应在洁净室停止运行相当时间，室内含尘浓度已接近大气尘浓度时进行。如果要求很快测定，可用发烟器人工发烟。
5.3. 以大气尘浓度为基准时：
5.3.1. 先测出洁净室内浓度（N0）。
5.3.2. 立即开机运行，将悬浮粒子计数器的采样管放在工作区高度上，定时（如每0.5分钟）读数，直至浓度达低限度（N）或符合相应洁净度级别的要求为止，这一段时间即为实测自净时间。
5.4. 以人工发烟（如发巴兰香烟）为基准时：
5.4.1. 应将发烟器放在离地面1.8m以上的室中心点，发烟1~2分钟即停止。
5.4.2. 1分钟后，在工作区平面的中心点测定含尘浓度（N0），作为基准。立即开机运行并计时，定时（如每0.5分钟）读数，直至浓度达到低限度（N）或符合相应洁净度级别的要求为止，以这一段时间为实测自净时间。
5.5. 由测得的开机前的原始浓度或发烟停止后1分钟的污染浓度(N0)、室内达到稳定时的浓度(N)和实际换气次数(n)，查附图1得出计算自净时间。
5.6. 实测自净时间应不大于计算自净时间得1.2倍。 6. 附则：
6.1.本标准附图 幅，附表 张。
6.2. 需要引用本标准的标准文件登记：
NEBB检测认证风速测试流程
测前准备：
（1）竣工图面（初版）与相关规范确认。
（2）洁净室所有开孔皆需封闭气密处理完成。
（3）测试前空调系统应已完成测试、调整、平衡，并已连续运转24小时以上。（包含新风空调箱单机试运转完成，FFU、风机盘管单机运转测试完成，自动控制完成且可监控，排气系统测试单机测试运转完成。）
（4）洁净室环境需清洁完成。
（5）测试进行时业主或监造单位应有代表在场，现场不得有其它单位同时施工以免影响测试之准确度。
测试目的：此检测动作在于确认滤网出口风速是否达到设计要求。
法规依据：IEST推荐做法，参考NEBB第二版IES-RP-CC006.3无尘室测试程序标准。
测试仪器：风速仪，型号：ADM-870C
测试位置：每一滤网均作测试，每个滤网被划分成四个测试位置。
测试步骤：a.确认FFU配置图及滤网编号。
b.将风速仪探棒固定置于滤网测试点下方75mm处，待数值稳定后量测5秒取平均值记录。
